Zerstörungsfreie ablösbare, ultradünne Trennschichten mit Schichtdicken unterhalb von 100nm für eine zuverlässige Entformung und Nachbearbeitung von Mikroformteilen
Überblick
Key Facts
- Grant Number:
- 01IF22597N
- Profilbereich:
- Nachhaltige Werkstoffe, Prozesse und Produkte
- Art des Projektes:
- Forschung
- Laufzeit:
- 10/2022 - 03/2025
- Beitrag zur Nachhaltigkeit:
- Hochwertige Bildung, Industrie, Innovation und Infrastruktur
- Gefördert durch:
- Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE)
